低電圧動作, 大電流密度の真空マイクロデバイスの開発に関する研究

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低電圧動作, 大電流密度の真空マイクロデバイスの開発に関する研究

村田顕二研究代表

[村田顕二], 1997.3

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テイデンアツ ドウサ ダイデンリュウ ミツド ノ シンクウ マイクロ デバイス ノ カイハツ ニ カンスル ケンキュウ

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平成7年度〜平成8年度科学研究費補助金(基盤研究(C)(2))研究成果報告書

課題番号:07650400

Details

  • NCID
    BA32040585
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    [堺]
  • Pages/Volumes
    31p
  • Size
    30cm
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