超高真空

著者

• 清水, 肇 シミズ, ハジメ
• 榎本, 祐嗣 エノモト, ユウジ
• 一村, 信吾 イチムラ, シンゴ

書誌事項

超高真空

清水肇, 榎本祐嗣, 一村信吾編著

（テクノライフ選書）

オーム社, 1997.11

タイトル読み

チョウコウ シンクウ

注記

参考文献: p141

内容説明・目次

内容説明

加速器、核融合といったビッグサイエンスから電子デバイスの開発、表面科学などなどたくさんの研究開発を支える基盤技術—超高真空。本書はいまやエレクトロニクス分野では不可欠なものとして利用されるようになった超高真空の技術と、いまどのような新しい発見がなされているかをわかりやすく解き明かします。

目次

• １章　超真空をつくる
• ２章　超高真空を制御する
• ３章　超高真空中で駆動する
• ４章　超高真空中を利用する
• ５章　超高真空を利用したビックサイエンス

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA33239627
• ISBN:
  • 4274023605
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: x, 141p
• 大きさ: 19cm
• 分類:
  • NDC9 : 534.93
  • NDC8 : 534.93
• 件名:
  • BSH : 真空技術
  • NDLSH : 真空工学
• 親書誌ID:
  • BN10366274