1997 International Workshop on X-ray and Extreme Ultraviolet Lithography July 13-15,1997 Pacifico Yokohama, Yokohama : Digest of Papers XEL '97

著者

• XEL'97組織委員会 XEL 97 ソシキ イインカイ
• 難波, 進 ナンバ, ススム
• Sakai, Yasuyoshi

書誌事項

1997 International Workshop on X-ray and Extreme Ultraviolet Lithography July 13-15,1997 Pacifico Yokohama, Yokohama : Digest of Papers XEL '97

Susumu Namba, Yasuyoshi Sakai chair, Organizing Committee

XEL'97組織委員会 ,[1997.9]

タイトル別名

Digest of Papers XEL'97

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA33799461
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: [出版地不明]
• ページ数/冊数: 1 v.(various paging)
• 大きさ: 32 cm
• 分類:
  • NDC9 : 549.9