Semiconductor technology : processing and novel fabrication techniques

著者

• Levinshteĭn, M. E. (Mikhail Efimovich)
• Shur, Michael

書誌事項

Semiconductor technology : processing and novel fabrication techniques

edited by Mikhail Levinshtein, Michael S. Shur

Wiley, c1997

注記

"A Wiley-Interscience publication."

Includes bibliographical references and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA33994977
• ISBN:
  • 0471127922
• LCCN: 97001734
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: New York
• ページ数/冊数: xviii, 240 p.
• 大きさ: 24 cm
• 分類:
  • LCC : TK7871.85
  • DC21 : 621.3815/2
• 件名:
  • LCSH : Semiconductors
  • LCSH : Semiconductor doping
  • LCSH : Semiconductors -- Defects