Defects and diffusion in silicon processing : symposium held April 1-4, 1997, San Francisco, California, U.S.A.
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Defects and diffusion in silicon processing : symposium held April 1-4, 1997, San Francisco, California, U.S.A.
（Materials Research Society symposium proceedings, v. 469）
Materials Research Society, c1997
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注記
Includes bibliographical references and index
