マイクロ波Nプラズマを用いたGaNバルク単結晶の育成
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マイクロ波Nプラズマを用いたGaNバルク単結晶の育成
(科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書, 平成7年度-平成8年度)
[山口大学工学部], 1997.3
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マイクロハ N プラズマ オ モチイタ GaN タンケッショウ ノ イクセイ
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注記
研究課題番号:07805032