プラズマ処理による鉄シリサイドの熱電変換性能向上とミクロ構造との関係

著者

• 三木, 俊克 ミキ, トシカツ

書誌事項

プラズマ処理による鉄シリサイドの熱電変換性能向上とミクロ構造との関係

三木俊克研究代表者

（科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書, 平成7年度-平成8年度）

[山口大学工学部], 1997.3

タイトル読み

プラズマ ショリ ニ ヨル テツ シリサイド ノ ネツデン ヘンカン セイノウ コウジョウ ト ミクロ コウゾウ トノカ ンケイ

注記

研究課題番号:07680534

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA35188833
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: [宇部]
• ページ数/冊数: ii,116p
• 大きさ: 30cm
• 親書誌ID:
  • BA30195401