電子エネルギー損失分光法を用いた薄膜成長機構に与える水素原子の役割に関する研究

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電子エネルギー損失分光法を用いた薄膜成長機構に与える水素原子の役割に関する研究

安田幸夫 [ほか著]

(科学研究費補助金(一般研究(B))研究成果報告書, 平成7年度)

[出版者不明], 1996.3

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デンシ エネルギー ソンシツ ブンコウホウ オ モチイタ ハクマク セイチョウ キコウ ニ アタエル スイソ ゲンシ ノ ヤクワリ ニ カンスル ケンキュウ

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課題番号:06452119

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Details

  • NCID
    BA35233574
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    [出版地不明]
  • Pages/Volumes
    98p
  • Size
    30cm
  • Parent Bibliography ID
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