レーザビーム描画による紫外線感光性樹脂を利用したマイクロストラクチュアの製造

著者

• 山口, 勝美 ヤマグチ, カツミ

書誌事項

レーザビーム描画による紫外線感光性樹脂を利用したマイクロストラクチュアの製造

山口勝美 [ほか著]

（科学研究費補助金(一般研究(B))研究成果報告書, 平成7年度）

[出版者不明], 1996.3

タイトル読み

レーザビーム ビョウガ ニ ヨル シガイセン カンコウセイ ジュシ オ リヨウ シタ マイクロストラクチュア ノ セイゾウ

注記

課題番号:06452159

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA35234260
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [出版地不明]
• 親書誌ID:
  • BN0345591X