トンネル分光法を用いたシリサイド/シリコン界面の評価と水素終端効果の研究

Author(s)

• 財満, 鎭明 ザイマ, シゲアキ
• 岩野, 博隆 イワノ, ヒロタカ

Bibliographic Information

トンネル分光法を用いたシリサイド/シリコン界面の評価と水素終端効果の研究

財満鎭明[ほか著]

（科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書, 平成7年度〜平成8年度）

[出版者不明], 1997.3

Title Transcription

トンネル ブンコウホウ オ モチイタ シリサイド シリコン カイメン ノ ヒョウカ ト スイソ シュウタン コウカ ノ ケンキュウ

Note

研究課題番号:07455024

研究分担者:岩野博隆

Details

• NCID: BA35298864
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpneng
• Place of Publication: [出版地不明]
• Pages/Volumes: 1冊
• Size: 30cm
• Parent Bibliography ID:
  • BA30193701