新しいラジカル計測法によるシラン系プラズマの診断と制御

著者

• 豊田, 浩孝 トヨダ, ヒロタカ
• 菅井, 秀郎 スガイ, ヒデオ
• 中村, 圭二 ナカムラ, ケイジ

書誌事項

新しいラジカル計測法によるシラン系プラズマの診断と制御

豊田浩孝[ほか著]

（科学研究費補助金(基盤研究C)研究成果報告書, 平成7~8年度）

[出版者不明], 1997.3

タイトル読み

アタラシイ ラジカル ケイソクホウ ニ ヨル シランケイ プラズマ ノ シンダン ト セイギョ

注記

研究課題番号:07680505

研究分担者:菅井秀郎、中村圭二

• NII書誌ID(NCID): BA3543051X
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: engjpn
• 出版地: [出版地不明]
• ページ数/冊数: 53p
• 大きさ: 30cm
• 親書誌ID:
  • BA30764121