新しいラジカル計測法によるシラン系プラズマの診断と制御

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新しいラジカル計測法によるシラン系プラズマの診断と制御

豊田浩孝[ほか著]

（科学研究費補助金(基盤研究C)研究成果報告書, 平成7~8年度）

[出版者不明], 1997.3

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アタラシイ ラジカル ケイソクホウ ニ ヨル シランケイ プラズマ ノ シンダン ト セイギョ

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研究課題番号:07680505

研究分担者:菅井秀郎、中村圭二

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Details

  • NCID
    BA3543051X
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    engjpn
  • Place of Publication
    [出版地不明]
  • Pages/Volumes
    53p
  • Size
    30cm
  • Parent Bibliography ID
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