球面収差補正用サイドエントリー薄膜レンズによる走査透過電子顕微鏡の高分解能化
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書誌事項
球面収差補正用サイドエントリー薄膜レンズによる走査透過電子顕微鏡の高分解能化
（科学研究費補助金(試験研究B(2))研究成果報告書, 平成7年度）
[出版者不明], 1996.3
- タイトル読み
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キュウメン シュウサ ホセイヨウ サイド エントリー ハクマク レンズ ニヨル ソウサ トウカ デンシ ケンビキョウ ノ コウ ブンカイノウカ
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注記
課題番号: 05555099
研究分担者:日比野倫夫, 田中成泰, 杉山せつ子