磁性流体を利用した研削型超精密研磨法の開発研究
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書誌事項
磁性流体を利用した研削型超精密研磨法の開発研究
(科学研究費補助金(基盤研究C)研究成果報告書, 平成8年度〜平成9年度)
[黒部利次], 1998.3
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ジセイ リュウタイ オ リヨウ シタ ケンサクガタ チョウ セイミツ ケンマホウ ノ カイハツ ケンキュウ
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