機能性薄膜の新成膜法の開発
著者
書誌事項
機能性薄膜の新成膜法の開発
(科学研究費補助金(基盤研究(A)(1))研究成果報告書)
[九州大学], 1998.3
- タイトル別名
-
平成7年度〜平成9年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(1))研究成果報告書(課題番号07555504)
- タイトル読み
-
キノウセイ ハクマク ノ シンセイマクホウ ノ カイハツ
機能性薄膜の新成膜法の開発
(科学研究費補助金(基盤研究(A)(1))研究成果報告書)
[九州大学], 1998.3
平成7年度〜平成9年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(1))研究成果報告書(課題番号07555504)
キノウセイ ハクマク ノ シンセイマクホウ ノ カイハツ