Advanced lithography

著者

• Institute of Physics. Electronics Group

書誌事項

Advanced lithography

（IOP short meetings series）

IOP Pub., c1988

注記

***遡及データをもとにした流用入力である

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA36495747
• ISBN:
  • 0854985093
• 出版国コード: uk
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Bristol
• ページ数/冊数: 92 p.
• 大きさ: 30 cm
• 分類:
  • DC19 : 621.381/73
• 件名:
  • PRECIS : Electronic equipment. Integrated circuits. Lithography
• 親書誌ID:
  • BA00320912