Mikromechanik : Mikrofertigung mit Methoden der Halbleitertechnologie
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Mikromechanik : Mikrofertigung mit Methoden der Halbleitertechnologie
Springer-Verlag, c1991
Unveränderter nachdruck der ersten Aufl
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注記
Includes bibliographical references and index
***記述は遡及デ-タによる
内容説明・目次
内容説明
Mikromechanik behandelt die physikalischen Grundlagen dieser jungen, zukunftstrachtigen Disziplin, ihre Technologie, aufbauend auf der Siliziumtechnologie, und ihre Nutzung in den verschiedensten Anwendungen der Bereiche Sensorik, Aktuatorik und integrierte Optoelektronik. Das Buch ist unentbehrlich fur jeden, der sich intensiv mit der Mikromechanik befassen will; fur den Studierenden ebenso wie fur den Ingenieur in der Praxis oder den interessierten Laien."
「Nielsen BookData」 より