Mikromechanik : Mikrofertigung mit Methoden der Halbleitertechnologie

著者

• Heuberger, A.

書誌事項

Mikromechanik : Mikrofertigung mit Methoden der Halbleitertechnologie

Anton Heuberger, (Hrsg.)

Springer-Verlag, c1991

Unveränderter nachdruck der ersten Aufl

注記

Includes bibliographical references and index

***記述は遡及デ-タによる

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA36542858
• ISBN:
  • 3540187219
• 出版国コード: gw
• タイトル言語コード: ger
• 本文言語コード: ger
• 出版地: Berlin
• ページ数/冊数: xvii, 501 p.
• 大きさ: 25 cm
• 分類:
  • LCC : TK7871.85
  • DC20 : 621.381/52
• 件名:
  • LCSH : Semiconductors -- Design and construction
  • LCSH : Micromechanics