Mikromechanik : Mikrofertigung mit Methoden der Halbleitertechnologie

Author(s)

• Heuberger, A.

Bibliographic Information

Mikromechanik : Mikrofertigung mit Methoden der Halbleitertechnologie

Anton Heuberger, (Hrsg.)

Springer-Verlag, c1991

Unveränderter nachdruck der ersten Aufl

Note

Includes bibliographical references and index

***記述は遡及デ-タによる

Details

• NCID: BA36542858
• ISBN:
  • 3540187219
• Country Code: gw
• Title Language Code: ger
• Text Language Code: ger
• Place of Publication: Berlin
• Pages/Volumes: xvii, 501 p.
• Size: 25 cm
• Classification:
  • LCC : TK7871.85
  • DC20 : 621.381/52
• Subject Headings:
  • LCSH : Semiconductors -- Design and construction
  • LCSH : Micromechanics