分子動力学法により求めた物性値による大口径シリコン単結晶作成プロセスの熱応力評価

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分子動力学法により求めた物性値による大口径シリコン単結晶作成プロセスの熱応力評価

研究代表者宮崎則幸

（科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書）

[九州大学], 1998.3

Other Title

平成8年度〜平成9年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書(課題番号08455064)

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ブンシ ドウリキガクホウ ニヨリ モトメタ ブッセイチ ニヨル ダイコウケイ シリコン タンケッショウ サクセイ プロセス ノ ネツオウリョク ヒョウカ

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Details

  • NCID
    BA36649818
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [福岡]
  • Pages/Volumes
    1冊
  • Size
    30cm
  • Parent Bibliography ID
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