SOI構造における酸化メカニズムの解明に関する研究

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SOI構造における酸化メカニズムの解明に関する研究

研究代表者 平本俊郎

平本俊郎, 1998.3

Other Title

平成8年度〜平成9年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

文部省科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

Title Transcription

SOI コウゾウ ニ オケル サンカ メカニズム ノ カイメイ ニ カンスル ケンキュウ

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Note

研究分担者: 藤田博之[ほか]

Details

  • NCID
    BA37075088
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    [東京]
  • Pages/Volumes
    57p
  • Size
    30cm
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