SOI構造における酸化メカニズムの解明に関する研究
著者
書誌事項
SOI構造における酸化メカニズムの解明に関する研究
平本俊郎, 1998.3
- タイトル別名
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平成8年度〜平成9年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書
文部省科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書
- タイトル読み
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SOI コウゾウ ニ オケル サンカ メカニズム ノ カイメイ ニ カンスル ケンキュウ
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注記
研究分担者: 藤田博之[ほか]
