SOI構造における酸化メカニズムの解明に関する研究

書誌事項

SOI構造における酸化メカニズムの解明に関する研究

研究代表者 平本俊郎

平本俊郎, 1998.3

タイトル別名

平成8年度〜平成9年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

文部省科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

タイトル読み

SOI コウゾウ ニ オケル サンカ メカニズム ノ カイメイ ニ カンスル ケンキュウ

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注記

研究分担者: 藤田博之[ほか]

詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BA37075088
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    jpn
  • 本文言語コード
    jpn
  • 出版地
    [東京]
  • ページ数/冊数
    57p
  • 大きさ
    30cm
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