新型マイクロ波モードを用いた大面積薄膜製造装置

Author(s)

• 河合, 良信 カワイ, ヨシノブ

Bibliographic Information

新型マイクロ波モードを用いた大面積薄膜製造装置

研究代表者河合良信

（科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書）

[九州大学], 1998.3

Other Title

平成8年度科学研究費補助金(基盤研究A(2))研究成果報告書(研究課題番号07558180)

Title Transcription

シンガタ マイクロハ モード オ モチイタ ダイメンセキ ウスマク セイゾウ ソウチ

Note

科学研究費補助金(基盤研究A(2))研究成果報告書 平成7年度〜平成8年度

Details

• NCID: BA37156849
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpneng
• Place of Publication: [福岡]
• Pages/Volumes: 30p
• Size: 30cm
• Parent Bibliography ID:
  • BA30195718