サブ0.1ミクロン薄膜SOI CMOS LSIデバイスの揺らぎに関する研究

著者

• 平本, 俊郎 ヒラモト, トシロウ

書誌事項

サブ0.1ミクロン薄膜SOI CMOS LSIデバイスの揺らぎに関する研究

研究代表者 平本俊郎

平本俊郎, 1998.3

タイトル別名

平成7年度-平成9年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書

文部省科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書

タイトル読み

サブ O.1 ミクロン ハクマク SOI CMOS LSI デバイス ノ ユラギ ニ カンスル ケンキュウ

注記

研究分担者: 藤田博之[ほか]

• NII書誌ID(NCID): BA37185406
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [東京]
• ページ数/冊数: 56p
• 大きさ: 30cm