マイクロマシニングによる弾性表面波ジャイロスコープの研究

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マイクロマシニングによる弾性表面波ジャイロスコープの研究

研究代表者 樋口俊郎

樋口俊郎, 1998.3

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平成7年度-9年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書

文部省科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書

Title Transcription

マイクロ マシニング ニヨル ダンセイ ヒョウメンハ ジャイロ スコープ ノ ケンキュウ

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Note

研究分担者: 黒澤実[ほか]

Details

  • NCID
    BA37188051
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [東京]
  • Pages/Volumes
    [1冊]
  • Size
    30cm
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