マイクロマシニングによる弾性表面波ジャイロスコープの研究
著者
書誌事項
マイクロマシニングによる弾性表面波ジャイロスコープの研究
樋口俊郎, 1998.3
- タイトル別名
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平成7年度-9年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書
文部省科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書
- タイトル読み
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マイクロ マシニング ニヨル ダンセイ ヒョウメンハ ジャイロ スコープ ノ ケンキュウ
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注記
研究分担者: 黒澤実[ほか]