音響の周波数を利用して薄膜の厚さを測定する新しい方法の開発

著者

• 一宮, 亮一 イチミヤ, リョウイチ

書誌事項

音響の周波数を利用して薄膜の厚さを測定する新しい方法の開発

一宮亮一研究代表者

（科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書, 平成7・8年度）

[一宮亮一], 1997.3

タイトル読み

オンキョウ ノ シュウハスウ オ リヨウ シテ ハクマク ノ アツサ オ ソクテイ スル アタラシイ ホウホウ ノ カイハツ

• NII書誌ID(NCID): BA37299391
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: [新潟]
• ページ数/冊数: 49p
• 大きさ: 30cm
• 親書誌ID:
  • BA30193701