音響の周波数を利用して薄膜の厚さを測定する新しい方法の開発

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音響の周波数を利用して薄膜の厚さを測定する新しい方法の開発

一宮亮一研究代表者

(科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書, 平成7・8年度)

[一宮亮一], 1997.3

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オンキョウ ノ シュウハスウ オ リヨウ シテ ハクマク ノ アツサ オ ソクテイ スル アタラシイ ホウホウ ノ カイハツ

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Details

  • NCID
    BA37299391
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    [新潟]
  • Pages/Volumes
    49p
  • Size
    30cm
  • Parent Bibliography ID
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