音響の周波数を利用して薄膜の厚さを測定する新しい方法の開発

Author(s)

• 一宮, 亮一 イチミヤ, リョウイチ

Bibliographic Information

音響の周波数を利用して薄膜の厚さを測定する新しい方法の開発

一宮亮一研究代表者

（科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書, 平成7・8年度）

[一宮亮一], 1997.3

Title Transcription

オンキョウ ノ シュウハスウ オ リヨウ シテ ハクマク ノ アツサ オ ソクテイ スル アタラシイ ホウホウ ノ カイハツ

Details

• NCID: BA37299391
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: [新潟]
• Pages/Volumes: 49p
• Size: 30cm
• Parent Bibliography ID:
  • BA30193701