nano-CMM(ナノメートル分解能の三次元座標測定機)の開発

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nano-CMM(ナノメートル分解能の三次元座標測定機)の開発

研究代表者 高増潔

高増潔, 1998.3

Other Title

平成7年度-平成9年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

文部省科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

Title Transcription

nano CMM ナノ メートル ブンカイノウ ノ サンジゲン ザヒョウ ソクテイキ ノ カイハツ

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Details

  • NCID
    BA37390904
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    [東京]
  • Pages/Volumes
    1冊
  • Size
    30cm
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