プラズマCVDによる透明・硬質な超はっ水性薄膜の作成
著者
書誌事項
プラズマCVDによる透明・硬質な超はっ水性薄膜の作成
[出版者不明], 1998.3
- タイトル別名
-
平成9年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書
- タイトル読み
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プラズマ CVD ニ ヨル トウメイ・コウシツナ チョウハッスイセイ ハクマク ノ サクセイ
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注記
課題番号:08555171
研究分担者: 井上泰志, 穂積篤