SEM環境下での超高速マイクロマシニングの研究

Author(s)

• 長尾, 高明 ナガオ, タカアキ

Bibliographic Information

SEM環境下での超高速マイクロマシニングの研究

研究代表者 長尾高明

長尾高明, 1998.3

Other Title

平成8年度-平成9年度科学研究費補助金(基盤研究(B)[2])研究成果報告書

文部省科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

Title Transcription

SEM カンキョウカ デノ チョウコウソク マイクロ マシニング ノ ケンキュウ

Note

研究分担者: 光石衛

Details

• NCID: BA37506576
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: engjpn
• Place of Publication: [東京]
• Pages/Volumes: 58p
• Size: 30cm