SEM環境下での超高速マイクロマシニングの研究

著者

• 長尾, 高明 ナガオ, タカアキ

書誌事項

SEM環境下での超高速マイクロマシニングの研究

研究代表者 長尾高明

長尾高明, 1998.3

タイトル別名

平成8年度-平成9年度科学研究費補助金(基盤研究(B)[2])研究成果報告書

文部省科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

タイトル読み

SEM カンキョウカ デノ チョウコウソク マイクロ マシニング ノ ケンキュウ

注記

研究分担者: 光石衛

• NII書誌ID(NCID): BA37506576
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: engjpn
• 出版地: [東京]
• ページ数/冊数: 58p
• 大きさ: 30cm