金属をドープした半導体性DLC膜のナノスケール制御プラズマCVD

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金属をドープした半導体性DLC膜のナノスケール制御プラズマCVD

高井治 [ほか著]

[出版者不明], 1998.3

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平成9年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

Title Transcription

キンゾク オ ドープシタ ハンドウタイセイ DLCマク ノ ナノスケール セイギョ プラズマ CVD

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Note

課題番号:08455346

研究分担者: 井上泰志

Details

  • NCID
    BA37516321
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [出版地不明]
  • Pages/Volumes
    1冊
  • Size
    30cm
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