金属をドープした半導体性DLC膜のナノスケール制御プラズマCVD
著者
書誌事項
金属をドープした半導体性DLC膜のナノスケール制御プラズマCVD
[出版者不明], 1998.3
- タイトル別名
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平成9年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書
- タイトル読み
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キンゾク オ ドープシタ ハンドウタイセイ DLCマク ノ ナノスケール セイギョ プラズマ CVD
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注記
課題番号:08455346
研究分担者: 井上泰志