Technology of proximal probe lithography

著者

• Marrian, Christie R. K.

書誌事項

Technology of proximal probe lithography

Christie R.K. Marrian, editor

（SPIE institutes for advanced optical technologies, v. IS 10）

SPIE Optical Engineering Press, c1993

注記

Includes bibliographical references

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA37527612
• ISBN:
  • 0819412325
  • 0819412333
• LCCN: 93008684
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Bellingham, Wash.
• ページ数/冊数: xi, 413 p.
• 大きさ: 26 cm
• 分類:
  • LCC : TK7874.8
  • DC20 : 621.3815/31
• 件名:
  • LCSH : Molecular electronics
  • LCSH : Lithography, Electron beam
  • LCSH : Probes (Electronic instruments)
  • LCSH : Nanotechnology
• 親書誌ID:
  • BA2042040X