マイクロマシンにおける微小エネルギ流入・流出現象の解明と集積機構の設計法
著者
書誌事項
マイクロマシンにおける微小エネルギ流入・流出現象の解明と集積機構の設計法
板生清, 1998.3
- タイトル別名
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平成7年度〜平成9年度科学研究費補助金(基盤研究(C)(2))研究成果報告書
文部省科学研究費補助金(基盤研究(C)(2))研究成果報告書
- タイトル読み
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マイクロマシン ニ オケル ビショウ エネルギ リュウニュウ リュウシュツ ゲンショウ ノ カイメイ ト シュウセキ キコウ ノ セッケイホウ
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