マイクロマシンにおける微小エネルギ流入・流出現象の解明と集積機構の設計法

著者

• 板生, 清 イタオ, キヨシ

書誌事項

マイクロマシンにおける微小エネルギ流入・流出現象の解明と集積機構の設計法

研究代表者 板生清

板生清, 1998.3

タイトル別名

平成7年度〜平成9年度科学研究費補助金(基盤研究(C)(2))研究成果報告書

文部省科学研究費補助金(基盤研究(C)(2))研究成果報告書

タイトル読み

マイクロマシン ニ オケル ビショウ エネルギ リュウニュウ リュウシュツ ゲンショウ ノ カイメイ ト シュウセキ キコウ ノ セッケイホウ

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA37620593
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [東京]
• ページ数/冊数: 1冊
• 大きさ: 30cm