Design and operation of clean rooms

著者

• Austin, Philip R.

書誌事項

Design and operation of clean rooms

by Philip R. Austin

Business News Pub. Co., 1970

Rev. ed

注記

Includes bibliographies

• NII書誌ID(NCID): BA37646134
• LCCN: 79103628
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Detroit
• ページ数/冊数: ix, 452 p.
• 大きさ: 27 cm
• 分類:
  • LCC : TH7694
  • DC : 697.9/324
• 件名:
  • LCSH : Clean rooms