シリコン単結晶からなる微細3次元構造体加工の研究

書誌事項

シリコン単結晶からなる微細3次元構造体加工の研究

佐藤一雄 [ほか著]

[出版者不明], 1998.3

タイトル別名

平成8年度~平成9年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

タイトル読み

シリコン タンケショウ カラナル ビサイ 3ジゲン コウゾウタイ カコウ ノ ケンシュウ

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注記

課題番号:08455045

研究分担者: 式田光弘

詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BA37658552
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    jpn
  • 本文言語コード
    jpneng
  • 出版地
    [出版地不明]
  • ページ数/冊数
    vi, 137p
  • 大きさ
    30cm
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