シリコン単結晶からなる微細3次元構造体加工の研究

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シリコン単結晶からなる微細3次元構造体加工の研究

佐藤一雄 [ほか著]

[出版者不明], 1998.3

Other Title

平成8年度~平成9年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

Title Transcription

シリコン タンケショウ カラナル ビサイ 3ジゲン コウゾウタイ カコウ ノ ケンシュウ

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Note

課題番号:08455045

研究分担者: 式田光弘

Details

  • NCID
    BA37658552
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [出版地不明]
  • Pages/Volumes
    vi, 137p
  • Size
    30cm
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