化学反応を用いたアトムリソグラフィー

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化学反応を用いたアトムリソグラフィー

研究代表者 田中虔一

田中虔一, 1998.3

Other Title

平成8-9年度科学研究費補助金基盤研究(C)研究成果報告書

文部省科学研究費補助金基盤研究(C)研究成果報告書

Title Transcription

カガク ハンノウ オ モチイタ アトムリソグラフィー

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Details

  • NCID
    BA37796793
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [東京]
  • Pages/Volumes
    1冊
  • Size
    30cm
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