超平坦化処理による鏡面分子反射壁面の開発と真空工学への応用
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書誌事項
超平坦化処理による鏡面分子反射壁面の開発と真空工学への応用
岡野達雄, 1998.6
- タイトル別名
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平成7年度〜平成9年度科学研究費補助金(基盤研究A(1))研究成果報告書
文部省科学研究費補助金(基盤研究A(1))研究成果報告書
- タイトル読み
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チョウ ヘイタンカ ショリ ニ ヨル キョウメン ブンシ ハンシャ ヘキメン ノ カイハツ ト シンクウ コウガク エノ オウヨウ
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注記
研究分担者: 福谷克之[ほか]
