新しい量子機能材料用半導体/絶縁体/金属複合構造作製装置の開発研究
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書誌事項
新しい量子機能材料用半導体/絶縁体/金属複合構造作製装置の開発研究
[出版者不明], 1998.3
- タイトル別名
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平成7年度~平成9年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(1))研究成果報告書
- タイトル読み
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アタラシイ リョウシ キノウ ザイリョウヨウ ハンドウタイ/ゼツエンタイ/キンゾク フクゴウ コウゾウ サクセイ ソウチ ノ カイハツ ケンキュウ
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注記
課題番号:07555100
研究分担者: 藤原康文, 田渕雅夫, 野々垣陽一ほか