ヘリコン波放電型酸素・フッ素負イオン源の開発

著者

• 門田, 清 カドタ, キヨシ

書誌事項

ヘリコン波放電型酸素・フッ素負イオン源の開発

門田清 [ほか著]

[出版者不明], 1998.3

タイトル別名

平成7~9年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書

タイトル読み

ヘリコンハ ホウデンガタ サンソ・フッソ フイオンゲン ノ カイハツ

注記

課題番号:07558178

研究分担者: 庄司多津男, 佐々木浩一, 松永幸二

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA38422802
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [出版地不明]
• ページ数/冊数: 76p
• 大きさ: 30cm