ヘリコン波放電型酸素・フッ素負イオン源の開発

Author(s)

• 門田, 清 カドタ, キヨシ

Bibliographic Information

ヘリコン波放電型酸素・フッ素負イオン源の開発

門田清 [ほか著]

[出版者不明], 1998.3

Other Title

平成7~9年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書

Title Transcription

ヘリコンハ ホウデンガタ サンソ・フッソ フイオンゲン ノ カイハツ

Note

課題番号:07558178

研究分担者: 庄司多津男, 佐々木浩一, 松永幸二

Details

• NCID: BA38422802
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpneng
• Place of Publication: [出版地不明]
• Pages/Volumes: 76p
• Size: 30cm