Semiconductor process and device performance modeling : symposium held December 2-3, 1997, Boston, Massachusetts, U.S.A.
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Semiconductor process and device performance modeling : symposium held December 2-3, 1997, Boston, Massachusetts, U.S.A.
（Materials Research Society symposium proceedings, v. 490）
Materials Research Society, c1998
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注記
Includes bibliographical references and index
