半導体工場ガス事故の実態と環境安全対策

著者

• 吉見, 武夫

書誌事項

半導体工場ガス事故の実態と環境安全対策

吉見武夫[ほか]編

（SCIENCE FORUM）

サイエンスフォーラム, 1998.9

タイトル読み

ハンドウタイ コウジョウ ガス ジコ ノ ジッタイ ト カンキョウ アンゼン タイサク

注記

文献:p177,284

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA39070278
• ISBN:
  • 4916164202
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: xiv,284p
• 大きさ: 30cm
• 親書誌ID:
  • BA39071102