半導体工場ガス事故の実態と環境安全対策

Author(s)

• 吉見, 武夫

Bibliographic Information

半導体工場ガス事故の実態と環境安全対策

吉見武夫[ほか]編

（SCIENCE FORUM）

サイエンスフォーラム, 1998.9

Title Transcription

ハンドウタイ コウジョウ ガス ジコ ノ ジッタイ ト カンキョウ アンゼン タイサク

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• 半導体工場ガス事故の実態と環境安全対策

  1998

  NDL Digital Collections

  Limited

Note

文献:p177,284

Details

• NCID: BA39070278
• ISBN:
  • 4916164202
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: 東京
• Pages/Volumes: xiv,284p
• Size: 30cm
• Parent Bibliography ID:
  • BA39071102