サブミクロンULSIプロセス技術

著者

• 半導体基盤技術研究会 ハンドウタイ キバン ギジュツ ケンキュウカイ

書誌事項

サブミクロンULSIプロセス技術

半導体基盤技術研究会編

（Ultra clean technology）

リアライズ社, 1989.11-1990.8

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タイトル読み

サブミクロン ユーエルエスアイ プロセス ギジュツ

注記

監修: 大見忠弘, 新田雄久

• NII書誌ID(NCID): BA39073298
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 3冊
• 大きさ: 27cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.7
  • NDLC : ND386
• 件名:
  • NDLSH : 集積回路
• 親書誌ID:
  • BA39073480