中性子転換注入法でリンをドープしたポリシラン量子材料の半導体物性
著者
書誌事項
中性子転換注入法でリンをドープしたポリシラン量子材料の半導体物性
[松山奉史], 1997.3
- タイトル別名
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平成7年度科学研究費(一般研究C)研究成果報告書(課題番号06640441)
- タイトル読み
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チュウセイシ テンカン チュウニュウホウ デ リン オ ドープ シタ ポリシラン リョウシ ザイリョウ ノ ハンドウタイ ブッセイ
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