斜入射レーザ光干渉による機械加工面の形状精度のコンピュータホログラフィック測定
著者
書誌事項
斜入射レーザ光干渉による機械加工面の形状精度のコンピュータホログラフィック測定
[久保愛三], 1997.3
- タイトル別名
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平成6年度〜平成8年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書(06555045)
- タイトル読み
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シャニュウシャ レーザコウ カンショウ ニ ヨル キカイ カコウ メン ノ ケイジョウ セイド ノ コンピュータ ホログラフィック ソクテイ
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