化学気相浸透法による炭化珪素/炭素傾斜機能材料の製造とプロセスモデリング

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化学気相浸透法による炭化珪素/炭素傾斜機能材料の製造とプロセスモデリング

橋本健治研究代表

[橋本健治], 1997.3

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平成7年度〜平成8年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書(課題番号:07455313)

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カガク キソウ シントウホウ ニ ヨル タンカ ケイソ タンソ ケイシャ キノウ ザイリョウ ノ セイゾウ ト プロセス モデリング

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Details

  • NCID
    BA39469233
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    [京都]
  • Pages/Volumes
    41p
  • Size
    30cm
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