化学気相浸透法による炭化珪素/炭素傾斜機能材料の製造とプロセスモデリング
著者
書誌事項
化学気相浸透法による炭化珪素/炭素傾斜機能材料の製造とプロセスモデリング
[橋本健治], 1997.3
- タイトル別名
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平成7年度〜平成8年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書(課題番号:07455313)
- タイトル読み
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カガク キソウ シントウホウ ニ ヨル タンカ ケイソ タンソ ケイシャ キノウ ザイリョウ ノ セイゾウ ト プロセス モデリング