Polycrystalline silicon for integrated circuits and displays

著者

• Kamins, Theodore I.

書誌事項

Polycrystalline silicon for integrated circuits and displays

by Ted Kamins

Kluwer Academic Publishers, c1998

2nd ed

注記

Includes bibliographical references (p. [317]-368) and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA39484951
• ISBN:
  • 0792382242
• LCCN: 98027506
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Boston
• ページ数/冊数: xv, 378 p.
• 大きさ: 25 cm
• 分類:
  • LCC : TK7871.15.S55
  • DC21 : 621.3815
• 件名:
  • LCSH : Integrated circuits -- Materials
  • LCSH : Silicon -- Electric properties