マイクロマシニング用超精密微細放電加工装置の試作研究
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書誌事項
マイクロマシニング用超精密微細放電加工装置の試作研究
宇野義幸, 1998.4
- タイトル別名
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平成7年度〜平成9年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書(課題番号:07555367)
- タイトル読み
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マイクロ マシニングヨウ チョウセイミツ ビサイ ホウデン カコウ ソウチ ノ シサク ケンキュウ
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注記
平成7年度〜平成9年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書
課題番号: 07555367
研究分担者: 岡田晃, 山田嘉昭
